在半导体晶圆(使用支持晶圆)的不断支持下,可在任何时候剥离/收集半导体晶圆。强烈建议用于半导体晶圆的背面研磨处理。
特征
具有超薄的研磨功能。
对晶圆提供稳固的支撑,从而避免晶圆弯曲和下垂。
任何时候都可通过热处理轻松剥离。
结构
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产品编号 | NWS-TS322F |
厚度 [μm] | 148 |
热分离粘合剂的粘合剂强度 (常态)[N/20 mm](对硅的粘合剂强度) |
1.7 |
热分离粘合剂的粘合剂强度 (热处理后)[N/20 mm](对硅的粘合剂强度) |
0.2 或更小 |
压敏粘合剂的粘合剂强度 [N/20 mm](对硅的粘合剂强度) |
1.5 |
【备注】
* 上述数据为样品测量值,因此不能保证其实际性能。
工艺流程
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【备注】
* 剥离胶带后,粘合片上可能会有超低剂量的材料(有机元素)残留在被粘合体上。可能会留下颗粒,尤其是在硅晶圆上。请确认残留材料或颗粒不会产生任何应用问题。